MEMS

• MEMS : Qu'est ce que c'est?
• Application des MEMS dans les domaines :
  • Optique
  • Mécatronique
  • Médical
  • RF
• Notions de technologie salle blanche
• Modèle mécanique du MEMS :
  • Modèle Statique
  • Modèle Dynamique
• Modélisation RF du MEMS
• Exemple de procédure de conception d'un MEMS-RF

Projet d'application : Conception d'un système RF accordable utilisant un MEMS en bande V (60GHz)

• Mise en œuvre d'un modèle électromagnétique de MEMS (HFSS)
• Extraction du modèle électrique (ADS) et mise en application d'un modèle paramétrique pour la conception de filtre passe-bande accordable de 60GHz à 40 GHz.
• Définition d'une fonction accordable à imaginer, mettre en oeuvre et valider par la simulation.